走进六大共享实验平台之超净间实验平台

发布时间:2022-04-20 浏览量:


 一、平台建设

研究院为响应国家“十四五规划”,发展集成电路产业,解决各类重点芯片国产化需求,从而创建超净间实验平台。

该平台建成为万级超净间,设施配套齐全,可承担集成电路各种芯片的封装、测试等工作,可提供毫米波、太赫兹芯片的科研和生产及各种电子器件(柔性电子、光电器件等)等制备与测试。目前,该平台已经服务于研究院10多个科研团队。

该平台立足自身科研需求,同时大力拓展长三角区域相关资源,期望与区域内企业、高校和研究机构共赢发展。


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二、应用领域

(1)集成电路:射频毫米波芯片、太赫兹芯片、生物医疗芯片和量子芯片等。

应用举例:5G毫米波、智能传感、无线通讯、卫星通讯、军用雷达和电子战等。

(2)微系统:射频微系统、微纳光电集成等。

应用举例:5G毫米波、无线通讯终端、卫星通讯雷达和电子战系统等。

(3)电子器件:柔性传感器、神经形态器件、钙钛矿光电器件、电化学储能器件等。

应用举例:可穿戴电子设备、类脑芯片、钙钛矿太阳能电池、风能储存等。

三、设备条件

超净间实验平台建成为万级超净间,配备毫米波高低温在片测试系统、矢量网络分析仪、光示波器、真空镀膜系统、推拉力测试机等一系设备。


1.毫米波高低温在片测试系统 

 

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 主要构件:探针台、显微镜、温控系统。

 探针台

型号规格:SUMMIT200  生产厂商:FormFactor

    设备参数:

① XY方向:移动行程≥203 mm * 203 mm,分辨率:≤ 0.2 μm,

轴精度:≤ 2 μm;② Z方向 移动行程≥35.0 mm,分辨率≤ 1 μm;

                     ③ Theta轴:移动行程≥± 7.5°,分辨率:0.5 μm,精度≤ ±2 μm。

温控系统基本指标

温控范围-55~300°C;温度分辨率0.1°C。

主要功能

毫米波高低温在片测试系统主要用于半导体生产制造中的芯片测试,将探针台与矢量网络分析仪连接,对晶圆上的芯片进行电学特性的测量或者产品缺陷的排查。系统集成高低温箱,可以对芯片进行-55~300℃范围内的高低温在片测试。

 

2.矢量网络分析仪


  型号规格:ZNA43 生产厂商:罗德与施瓦茨 

    设备参数

     频率范围10MHz~43.5GHz;

     动态范围:可达144dB(典型值,1~16GHz)



主要功能

ZNA系列网络分析仪具备基本的射频微波器件的S参数测量功能,还集成了时域分析功能、标量混频器和矢量混频器测量功能、噪声系数测量功能以及脉冲调制器和脉冲信号的S参数测量功能。 


3.推拉力测试机


 型号规格:MFM1200L 生产厂商:深圳市德瑞茵精密科技有限公司

   设备参数

① Y轴最大测试力200KG, Z轴最大测试力:20KG 量程自动切换;

② 剪切高度设置2mm以内,精度:1 μm;

③ 测试精度(标准件校验):系统精度±0.1%;

④ 显微镜1-60X);

⑤ VPM垂直定位:有VPM垂直定位跟VPM垂直牵引定位技术。



主要功能

MFM系列多功能剪切力测试仪具有测试动作迅速、准确、适用面广的特点。主要应用于半导体IC封装测试、LED封装测试、光电子器件封装测试、PCBA电子组装测试等。

  

4. 真空镀膜系统


  型号规格:ZHDS400生产厂商:北京泰科诺科技有限公司

    设备参数

① 真空指标:极限真空:优于5.0×10-5Pa;设备升压率≤0.8Pa/h;

② 金属源:水冷铜电极 2组;

③ 有机源:束源式控温有机蒸发源(最高温度600°),4 组; 

④ 膜厚控制系统:进口晶振膜厚仪在线监测、控制膜厚。



主要功能

通过高温蒸发法获得高质量的电子器件薄膜。主要应用于晶体管、太阳能电池、柔性电子器件等。

 

5.光谱分析仪

 

   型号规格:AQ6370D-12 生产厂商:日本横河 

   设备参数

① 波长:范围:600 ~ 1700nm;精度:±0.02nm (1520 ~ 1580nm),±0.10 (全波长范围);② 最小采样分辨率:0.001nm;③ 最大输入功率(dBm):+20dBm;④ 动态范围(dB)78 (±1.0nm,RES: 0.05nm typ.);⑤ 适用于单模和多模光纤

主要功能

光谱分析仪可以测量高功率光源,如放大器、拉曼放大器的泵浦激光源和微弱光信号。AQ6370D-12有分辨率校准功能;多种数据分析功能有:谱宽分析、WDM(OSNR)分析、WDM-NF(EDFA)分析、DFB-LD分析、FP-LD分析、LED分析、SMSR分析、各种滤波器分析等。

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稿:实验中心、国资部 / 图片:陈楠 / 编辑:李卓然 / 审核:李卓然 / 发布:李卓然